高純氣體管道的所有高純度、高清潔氣體都要通過管道輸送到儀器用點(POU)，為了滿足儀器的質量要求，在出口指標一定的情況下，要更加注意管道系統的材料選擇和施工質量。根據燃氣或凈化設備的精度，管道系統的各種因素受到很大影響，因此管道的選擇須符合相關產業(yè)原則，并標明管道材料。

　　高純氣體的管道輸送將其送到燃氣店，保持質量合格的關鍵是燃氣系統設計合理，配件選擇與施工安裝正確，通過了檢測。高純氣體輸送管道應根據工藝過程中對氣體純度、允許雜質含量、顆粒物含量等的要求，采用相應質量的管道。

　　例如半導體產業(yè)，由于生產工藝復雜、加工精細，不僅有干凈的生產環(huán)境，而且對生產過程中所需的各種高純度氣體有著具體而嚴格的要求。從微米技術進入亞微米、深亞微米(小于O.35g.m)技術對氣體的雜質含量和含水量要求非常嚴格，因此管道材料特性適應高純和超高純氣體的要求是必要的。

　　1、管道材料屬性

　　在輸送高純天然氣管道方面，影響氣體質量的管材材料的主要特點是氣體滲透性、火器率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、耐蝕性。

　　2、氣體滲透性

　　氣體通過物料從高壓(或分壓)側流向低壓(或分壓)側的現象，成為氣體滲透。由于空氣中氧氣和氮氣的分壓最大，氣體分子相對較小，所以管道材料的氣體滲透率主要表現為氧氣和氮氣的滲透率，一般氧氣滲透率測試很多。對于輸送純度在ppm級以上的氣體，從氣體滲透的角度考慮，應使用不銹鋼管或鋼管。如果我們不當選擇不合格的管道材料，無論我們采取什么凈化措施，都無濟于事。

　　3、出氣速率

　　材料冶煉過程中形成的管材晶間或晶格內部有高純氣體運輸過程中緩慢釋放并污染高純氣體的雜質。特別是雜質需要ppb以上的高純氣體。通常低碳不銹鋼管道的花期很低。

　　4、吸附性

　　水分等雜質是極性分子，所以吸附性很強。橡膠、塑料或某些表面粗糙的材料容易吸附水分等雜質，銅對水的吸附性很強，使用這些物質輸送高純氣體容易污染。除了輸送ppm級以下的氧氣外，使用銅管外，高純氣體不使用銅管和塑料管。